第230章 鸡蛋清引发的良品率问题[1/2页]

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    周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前，注视一块高纯度硅锭被送入切割台上。

    nbsp硅片厂生产线还没有投产，眼前的硅锭是从沪江运送过来，用于试生产的，

    nbsp随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下，硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。

    nbsp这些晶圆将被送往下一个车间，进行打磨和抛光。

    nbsp接下来就是光刻工序，也是整个制造过程中最核心的环节。

    nbsp姜明尚皱眉道：“前几道工序都没问题，但光刻车间的良品率始终上不去。

    nbsp我研究了几天，始终没找到问题所在。”

    nbsp周博笑道：“万事开头难，GK1是第一台光刻机，有问题很正常，没问题才奇怪。”

    nbsp两人一边说着，一边来到光刻车间。

    nbsp车间中央横置着一台庞然大物——GK1干式光刻机，几名技术人员正围在操作台前。

    nbsp“怎么回事，又是图案粘连！”一名技术人员苦恼道。

    nbsp“会不会是光刻胶有问题？”

    nbsp“不应该，都是一样的调配流程，在沪江好用，到了粤州就出问题？

    nbsp没道理呀！”

    nbsp“是呀，真特么见鬼了！”

    nbsp“原来的流水线不是挺好吗，一做成整机就出问题，自找麻烦！”有人抱怨道。

    nbsp“整机在沪江测试过，也没问题呀！”

    nbsp“到底怎么回事呢？”

    nbsp众人议论纷纷，看到周博和姜明尚走过来，立刻向二人打招呼。

    nbsp“周总工，姜总工！”

    nbsp都是电子厂的老人，还是习惯用以前的称呼。

    nbsp姜明尚问道：“怎么样，这次良品率多少？”

    nbsp“10片芯片，只有1片能用，其他全部出现图案粘连现象！”

    nbsp10%！

    nbsp这良品率实在有点可怜。

    nbsp周博也皱起眉头。

    nbsp光刻机在沪江时测试过的，怎么到了粤州就水土不服？

    nbsp“给我看看！”

    nbsp一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。

    nbsp周博来到显微镜前，将芯片放在物境前固定好，看了起来。

    nbsp镜头中，本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹，模糊成团。

    nbsp这就是所谓图案粘连。

    nbsp看完之后，周博没有说话，走到了光刻机的操作台前。

    nbsp暗暗在脑海中发出指令。

    nbsp“分析GK1光刻机···”

    nbsp【叮！】

    nbsp【系统分析开始···】

    nbsp【光刻机型号：GK1】

    nbsp【分析结果如下：】

    nbsp【1.光源系统正常。

    nbsp2.对准与调焦系统正常。

    nbsp3.双工件台系统正常

    nbsp4.掩模输运与定位系统正常···】

    nbsp系统分析完毕，光刻机一切正常。

    nbsp周博叹了一口气，心中也犯了难，问题出在什么地方呢？

    nbsp系统也不是万能的，现在要靠自己定位问题了。

    nbsp“大家有什么看法！”周博先询问众人的意见。

    nbsp姜明尚道：“每次都出现图案粘连，我还是怀疑光刻胶有问题。

    nbsp但是又查不出来！”

    nbsp周博点点头。

    nbsp现在他们所用的光刻胶，是从鸡蛋清里提取出来的，调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

    nbsp一年多来，在电子厂车间产线上使用，从来没出过问题。

    nbsp之所以用鸡蛋清，多少有点无奈，光刻

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